Назначение и основные характеристики


Используется для получения снимков высокого разрешения объектов, имеющих наноразмерную структуру, и анализа элементного состава образцов

  • максимальное разрешение: 0,7 нм
  • увеличение: от 57x до 2,5*106x
  • ускоряющее напряжение: 0.3–30 кВ
  • рекомендуемый размер образца (не более): 1x1 см
  • детекторы: In-Lens (внутрилинзовый), детектор вторичных электронов SE2, BSE
  • система рентгеноспектрального микроанализа INCA Energy 350
Изготовитель

Растровый электронный микроскоп SUPRA – 55WDS:
«Carl Zeiss AG», Германия

Система рентгеноспектрального микроанализа INCA Energy 350:
«Oxford Instruments», Великобритания

Год ввода в эксплуатацию

2007г

Метрологическое обеспечение

МВИ "Методика выполнения измерений линейных размеров наноматериалов и наноструктур с помощью растрового электронного микроскопа SUPRA 55 при работе с InLense и SE (BSE) детекторами"

МВИ "Методика выполнения измерений линейных размеров наноматериалов и наноструктур с помощью растрового электронного микроскопа SUPRA 55 при работе с STEM детектором"

МВИ "Определение элементного состава наноматериалов и наноструктур с помощью растрового электронного микроскопа SUPRA 55 с системой микроанализа INCA Energy 350. Методика выполнения измерений"