Назначение и основные характеристики


Предназначена для осуществления операций электронномикроскопического препарирования, связанных с распылением материалов в вакууме, а также может быть использована для металлизации материалов в вакууме, нагрева и охлаждения исследуемых образцов, очистки образцов и распыления материалов с помощью ионной бомбардировки.

  • Остаточное давление в рабочем объеме при охлаждении ловушки водой: 1,3*10-3 Па
  • Остаточное давление в рабочем объеме при охлаждении ловушки жидким азотом: 1,3*10-4 Па
  • Максимальное давление наполнения водорода: 2,5 МПа
  • Ток накала испарителей: до 200 А
  • Напряжение на выходе высоковольтного выпрямителя без нагрузки: 10 кВ
  • Максимальный ток тлеющего разряда: 50 мА
  • Год ввода в эксплуатацию: 2011