ENG

 

Лаборатория высокоточной обработки поверхности

Oтделение теплообмена и механики микро- и наноразмерных систем

Зав. лабораторией

Худолей Андрей Леонидович, кандидат технических наук,
лауреат Премии НАН Беларуси

Тел: +375 17 284-12-35
E-mail: khudoley@hmti.ac.by
Комн.425 корп.2


Основные направления деятельности

- Проведение научно-исследовательских работ в области процессов формообразования поверхностей путем реализации эффекта массопереноса − унос материала с обработанной поверхности, характеризующийся энергией переноса.
- Изучение процессов наноизнашивания. Исследование трибологических и механохимических взаимодействий.
- Поиск, анализ, разработка, изготовление, испытание и внедрение техники и технологий для высокоточной обработки поверхностей деталей оптической, полупроводниковой и других отраслей промышленности.
- Разработка эффективных конструктивных схем и изготовление оборудования, модулей и сопутствующей оснастки для обработки плоских, выпуклых и вогнутых деталей, включая крупногабаритные изделия и компоненты.
- Поиск и разработка составов реологических жидкостей для полирования твердых, сверхтвердых, химически нестойких, водорастворимых, наноструктурированных материалов, включая тонкие пленки и покрытия.
- Создание алгоритмов и средств управления, разработка специального программного обеспечения для реализации процессов формообразования, включая подготовку и использование реологических жидкостей.
- Проведение контактного и бесконтактного комплексного контроля состояния поверхностей до и после обработки изделий. Использование результатов контроля для определения технологических параметров формообразования и полирования.


Экспериментальная база

- Лабораторная установка для полирования

- Комплекс для формообразования и полирования изделий размером до 420 мм

- 2-х и 3-х координатные модули для обработки изделий до 2,5 метров

- Интерферометр ИКД-110 3D

- Профилометр KLA-Tencor MicroXAM-800


Разработки

Технологии и оборудование для высокоточного формообразования и финишного магнитореологического полирования плоских, сферических и асферических поверхностей прецизионных деталей:

• Технологии формообразования и полирования

• Специальные установки для формообразования и полирования

• Модули, расширяющие технологические способности оборудования

• Полировальные составы для финишной обработки поверхностей

• Программное обеспечение

• Комплексная диагностика состояния поверхности

 

Примеры использования предлагаемых разработок

- Формирование асферической поверхности оптического изделия, имеющего первоначальную сферическую  форму
- Автоматизированная обработка локальных участков поверхности со снятием различного припуска (режим "ретушь")
- Снятие тончайшего дефектного слоя, образовавшегося при выполнении предшествующих операций, для повышения лучевой прочности оптических элементов лазерных систем (включая изделия из водорастворимых кристаллов)
- Финишная обработка поверхностей длинномерных труб, калибров, сложных сочленений, прецизионных направляющих,  выполненных из  немагнитных металлических сплавов
- Планаризация поверхностей интегральных схем, имеющих сложное морфологическое и топологическое строение, для изготовления компонентов 3D электроники 
- Полирование крупногабаритной оптики, зеркал и сегментов зеркал, изготовленных из церодура, ситалла и карбида кремния

Достоинства

- Габаритные размеры обрабатываемых изделий от 3 мм до 2,5 метров, среднеквадратичная точность формы до λ/100;  среднеквадратичная шероховатость поверхности Rq = 0,2-2,5 нм
- Полная автоматизация технологии обработки позволяет достичь высокого уровня воспроизводимости результатов как для отдельных участков единичного изделия, так и серии деталей

 


Технологии и оборудование для высокоточного формообразования и финишного магнитореологического полирования плоских, сферических и асферических поверхностей прецизионных деталей

 

   Национальный правовой Интернет-портал Республики Беларусь       

2010 © Институт тепло- и массообмена имени А.В.Лыкова Национальной академии наук Беларуси

ул. П.Бровки, 15, 220072, г. Минск
Приёмная: +375(17)2842136, факс: +375(17)2922513
E-mail: office@hmti.ac.by